合肥装备制造业奋战“开门红”

零重力飞机工业工厂内，工程师正在装配eVTOL飞行器ZG-ONE二号机。

合肥欣奕华洁净车间内的AMHS系统。

装备制造业是国之重器，是实体经济的重要组成部分。近年来，合肥装备制造产业已实现千亿产值规模，2023年增加值增速4.3%，继续保持平稳增长的良好态势。新年伊始，我市的装备制造企业也忙得热火朝天，为新年新订单奋战“开门红”。

天花板上的“物流中心”

2月5日，立春刚过，雪落满城，在合肥新站高新区龙子湖路上，合肥欣奕华智能机器股份有限公司的高洁净车间内正忙得火热，一笔大订单正加班加点赶制。

高洁净车间的天花板上，一辆辆“天车”载着零件物料在空中驰骋，丝滑地向左向右拐弯，在不同轨道上四散开来，向着既定的“目的地”出发，像是乐谱上欢乐跳跃的音符——这是合肥欣奕华自主研发的AMHS（半导体自动物料搬送系统），将助力全国各大晶圆厂实现生产效率再提速。

“拿我们现实生活里的公路作比喻，我们在工厂天花板上架设轨道，‘天车’像是汽车行驶在公路上，根据晶圆厂的不同需求，有些设置双层轨道，就像公路和高架桥，‘天车’会根据搬运物料的紧急程度等指令，在每个分叉口动态选择搬送途径。”合肥欣奕华智能机器股份有限公司产品经理王正文说。

据了解，AMHS由传输设备、存储设备和控制软件等软硬件共同组成，其核心包括OHT（空中走行式无人搬送天车）、Stocker（晶圆盒自动存储库）等成套装备及其OCS（天车控制系统）、MCS（物料控制系统）等软件控制系统，可广泛应用于半导体集成电路、新型显示、新能源等高端制造业领域，特别是硅片生产、芯片制造与封测等多场景。

芯片制造对工艺和环境要求很高，所以洁净工厂内的空间利用率、产品良率和生产效率等成为其最关心的问题。而AMHS作为半导体制造工厂的动脉系统，可以在洁净环境中实现复杂工艺间的无人自动搬送，相比于人工搬运提升了效率，增加了空间利用率，大大提升芯片制造品质和良率。

“目前，OHT最大负载15公斤，行驶速度最高可达320米/分钟，合肥欣奕华AMHS系统的安全性能、搬送效率、晶圆保护、动作精度等各项性能指标均达到国际先进水平，而且拥有高效的动态路径算法，已具备大规模车辆调度能力，在这个专为AMHS系统生产准备的超4000平方米的千级洁净车间里，可实现月产100台天车的产能。”王正文说。

打“飞的”飞向未来

在合肥高新区樱花路上，零重力飞机工业（合肥）有限公司（以下简称“零重力飞机工业”）的工厂内，工程师们正在一个“大家伙”旁装配零件，这是上个月刚落地合肥的eVTOL飞行器ZG-ONE二号机，市民们能否打“飞的”上天，就看它装配好后试飞的英姿了。

成立于2021年的零重力飞机工业，是一家专攻载人电动垂直起降（eVTOL）飞行器的创新型企业，业务覆盖电动垂直起降（eVTOL）飞行器的设计研发、生产制造及运营服务等。

去年9月，零重力多旋翼eVTOL飞行器ZG-ONE一号机总装下线，在下线两个月内完成配重飞行、航向增稳、锁定航向飞行等不同科目共计35架次283分钟的飞行测试，为二号机的落地提供了丰富的数据支撑。

“二号机目前正在进行总装，机臂、机身还有相关线束都安装好了，计划春节后安装搭载设备、电池舱等，一切顺利的话3月就会开展试飞，它是自动驾驶模式，可载2人，巡航速度在75公里/小时左右，最大速度可达到125公里/小时，续航里程在30公里左右，主要用于研学教育、低空旅游、应急救援、短途交通接驳等场景。”零重力飞机工业生产中心主任章小华说。

“我们正在申请适航取证，推进量产与交付。”零重力飞机工业联合创始人兼COO石红介绍，目前，零重力飞机工业已经与多家eVTOL运营单位签署订购协议，总计达成5年累计采购230余架ZG-ONE的意向订单。

“未来，eVTOL飞行器将‘飞入寻常百姓家’，成为像汽车一样普遍的交通工具，提高城市、城际的出行效率，每天‘打飞的’上下班不再是梦。”石红说。

本地配套率大有可为

作为基础性、战略性产业，装备制造业是制造业的“脊梁”。

近年来，合肥聚焦工程机械、工业机器人、机床、智能成套装备、零部件等领域，成长起一批在全国有影响力的代表性企业，实施一批优质项目，不断提升产业集群能级，努力打造高端装备制造产业发展高地。

“合肥的装备制造业聚焦16条产业链配套需求，优质企业快速成长，现有国家级单项冠军企业7家、专精特新‘小巨人’企业48家、省级专精特新企业152家；另一方面，随着新能源汽车、光伏、集成电路等产业快速发展，各行业龙头企业吸引众多核心配套项目落地合肥。”市经信局装备产业处处长沈尧介绍。

高端装备制造产业技术含量高、附加值高、产业地位高，处于价值链高端和产业链核心环节，发展水平更是决定着产业链的综合竞争力，合肥聚焦产业链配套需求，多点“开花”，活力强劲。

在工程机械方面，合力股份30多年来稳居工业车辆领域全国第一，2022年位居世界第七；工业机器人方面，合肥欣奕华的洁净搬运机器人在国内细分市场占有率超70%；机床方面，合锻智能是国内唯一同时具备间接、直接热成型技术的企业，在热成型成套装备领域占据30%市场份额，位居国内首位、国际第三；智能成套装备（含色选机、电气机械和器材）方面，巨一科技是国内领先的汽车智能装备整体解决方案专家，处于行业第一梯队，美亚光电、中科光电等色选机行业占据国内80%市场份额。

目前，合肥装备制造企业承担国家工业强基、揭榜挂帅补短板等专项7个，2023年获批省级首台套装备55个，占全省1/4。

“新年新气象，合肥装备制造企业还需要携外销之势，大力开拓本地市场，我们本地配套率有很大的提升空间。”沈尧说。

（黄紫燕）